很多人都知道半导体工艺中光刻机是最核心的,因为它决定了半导体工艺的技术水平,而且成本能占到整个芯片的1/3。在进入7nm节点之后,光刻机也需要升级到euv光刻机,目前仅有荷兰asml公司能造,该公司ceo表示euv光刻机非常复杂,没有可能被复制,全球只有asml能生产。
据荷兰媒体报道,在1月22日的asml财报会议上,asml公司ceo peter wennink谈到了euv光刻机的问题,他解释说asml是euv光刻机的系统集成商,这套设备集成了全球数百家公司的技术,拥有超过8000多个零部件,许多零件都是非常复杂的。
peter wennink表示,以镜头为例(注:物镜系统是光刻机三大核心之一,其他两个是激光系统、工作台),卡尔蔡司为asml提供光学镜头,集成了各种反光镜及光学部件,世界上没有哪家公司能够复制他们的技术。
peter wennink强调,asml的光刻机装有传感器,一旦检测到异常情况就会发出警报。
根据asml财报的最新财报,2019年该公司交付了26台euv光刻机,远超上一年的18台,预计2020年交付35台euv光刻机,2021年则会达到45台到50台的交付量,是2019年的两倍左右。
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